Технологии Тренч- КСДИ

1.

Технологии
Тренч- КСДИ
КСДИ с улучшенными параметрами
КНИ - структуры

2.

Разработка КСДИ с улучшенными параметрами
Макетный образец
Опытный образец
первых этапов разработки
Опытный образец
финальных этапов разработки

3.

Настоящее время –
серийные интегральные схемы КСДИ с улучшенными параметрами
Тип1
толщина рабочего слоя 8-10 мкм
Толщина рабочего
слоя 9 мкм
Тип2
толщина рабочего слоя >10 мкм
Толщина рабочего
слоя 28 мкм

4.

Измерение параметров рабочего слоя КСДИ с улучшенными параметрами
на установке FRT Microprof 200

5.

Снижение рельефа структур КСДИ
Предварительная полировка образцов на установке Ю1М3
Финишная полировка образцов на установке Poli-400,
приобретенной в рамках проекта (КСДИ/23-ВПРМ9)

6.

Разработка КНИ - структур
Опытный образец
первых этапов разработки
Опытный образец
финальных этапов разработки
Толщина рабочего
слоя 30 мкм
Толщина рабочего
слоя 8-10 мкм

7.

Измерение толщины рабочего слоя КНИ-структур
на Фурье-спектрометре ФСМ 1201 (КСДИ/23-ВПРМ8)
9,23 мкм
8,96 мкм

8.

Разработка Тренч - КСДИ
Макетный образец
Тип1
ширина тренч: 3-10 мкм
Опытный образец
первых этапов разработки
Опытный образец
настоящее время – интегральная схема
на базе технологии Тренч - КСДИ

9.

Измерение резмеров тренч-канавки
на установке FRT Microprof 200
Позиция Тренч 5
Ширина 4,75
Глубина 16,705
Тренч 4
4,72
16,688
Тренч 3
4,75
16,648
Тренч 2
5,19
16,684
Тренч 1
4,8
16,832