Исследование макета криогенного насоса

1.

Презентация на тему
«Исследование макета криогенного
насоса»
Выполнили: студентки группы НИ.Б-51
Маркова А.А
Юдина А.С.
Проверил: Адарчин С.А.

2. Горизонтальное расположение вакуумной системы

3. Способы применения вакуумных насосов

• Осаждение методом распыления
( давления в диапазоне от 2 до 5 мТорр )
• Ионная имплантация
( давления в диапазоне от 10-8 до 10-4 Торр )
• Испарение
(давления в диапазоне от 10-5 до 10-7 Торр )

4. Холодильник

5. Цикл Стирлинга

В основе принципа работы криогенного насоса лежит
цикл Стирлинга. Цикл Сти́рлинга — термодинамический
цикл, описывающий рабочий процесс машины Стирлинга,
запатентованной в 1816 г. шотландским изобретателем
Робертом Стирлингом. Идеальный цикл Стирлинга
состоит из процессов:
• 1—2 изотермическое расширение рабочего тела с
подводом тепла от нагревателя;
• 2—3 изохорный отвод тепла от рабочего тела к
регенератору;
• 3—4 изотермическое сжатие рабочего тела с отводом
тепла к холодильнику;
• 4—1 изохорический нагрев рабочего тела с подводом
тепла от регенератора.

6. Принцип работы холодильника Стирлинга

7. Параметры криогенных насосов

1. Скорость откачки
(Мера объема газа, удаляемого за единицу времени.
Выражается в л/сек )
2. Параметр включения крионасоса (crossover)
(позволяет оценить температуру на конденсирующих
ступенях )
3. Емкость
(Определяется количеством газа, которое может
захватить насос без изменения рабочих параметров )

8.

4. Производительность
(Возможный диапазон газовой нагрузки составляет от 300 до 1,000
см3/мин )
5. Емкость по водороду
(скорость зависит от насыщенности адсорбирующего вещества )
6. Восстановление давления
(Требуется, чтобы конденсируемые газы контактировали только с
поверхностями, температура которых намного ниже 20 К; и
уменьшение температурного взаимовлияния конденсируемого
вещества )
7. Встроенная система управления
(Возможности позволяют обнаружить и скомпенсировать внешние
возмущающие воздействия, как уменьшение напуска
технологических газов и др )

9.

Спасибо за внимание