Похожие презентации:
Производство интегральных микросхем
1.
Производство интегральных микросхемЛекция 10
Весна 2016
Интегральные микросхемы
(часть 2)
Производство интегральных
микросхем
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
1
2.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Производство интегральных микросхем
Основные этапы:
1. Изготовление монокристалла
2. Разрезка монокристалла на пластины и их
подготовка
3. Формирование слоев
4. Металлизация
5. Резка пластин
6. Установка в корпус
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
2
3.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Изготовление монокристалла методом
Чохральского
1-Тигель с расплавом
2. – печь
3 – затравка
4 – холодильник
5 – механизм
вытягивания
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
3
4.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Разрезка монокристалла на пластины
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
4
5.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Схема формирования слоев методом
фотолитографии
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
5
6.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Нанесение защитной пленки диэлектрика SiO2
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
6
7.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Нанесение фоторезистива
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
7
8.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Формирование рисунка
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
8
9.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Фотошаблон
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
9
10.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Установка EUV-литографии
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
10
11.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Установка EUV-литографии
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
11
12.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Травление
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
12
13.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Схема установки травления, промывки и сушки
1 – ротор
2 – днище камеры с
отверстием
3 – форсунка сушки
4 – форсунка травления и
отмывки
5 – платформа с
пластинами
6 – съемная крышка
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
13
14.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Формирование слоев
(диффузия)
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
14
15.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Рабочая камера диффузионной печи
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
15
16.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Метод ионной имплантации
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
16
17.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Метод ионной имплантации
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
17
18.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Ломка пластин на отдельные кристаллы
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
18
19.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Установка в корпус
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
19
20.
Производство интегральных микросхемХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Весна 2016
20
21.
Производство интегральных микросхемХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Весна 2016
21
22.
Производство интегральных микросхемВесна 2016
Технология
«напряженный кремний»
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
22
23.
24.
Производство интегральных микросхемХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Весна 2016
24