Презентация насоса типа Рутса
Схема – разрез насоса Рутса
Обратный поток в области низкого вакуума
Параметры насосов Рутса
Достоинства предлагаемой системы
Преимущества предлагаемой системы
Недостатки
Сравнения стоимости эксплуатации насосов
Видео
РЖ-61
РЖ-61
2.36M

Насос Рутса

1. Презентация насоса типа Рутса

Выполнил:
Выполнил: студент
студент гр.2341гр.234122
22
Нургалиев
Нургалиев А.
А. И.
И.

2. Схема – разрез насоса Рутса

Газовый поток
Впуск
Выпуск
Сопрягающиеся ротора

3.

СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА
впуск
2
1
3
1
6
выпуск
5
4

4. Обратный поток в области низкого вакуума

Стадия сжатия
Обратный поток

5. Параметры насосов Рутса

Насос Рутса не является компрессором, и
предназначен для транспортирования
больших объемов газа
Насос Рутса работает при определенном
перепаде давлений
Для работы необходим форвакуумный
насос
Наиболее эффективная откачка в
диапазоне давлений от 1 до 10-2 мбар
Рабочий зазор 0.1-0.5 мм
Скорость откачки от 150 до 30,000 м3ч-1

6.

Преимущества «сухих» насосов
Высокая производительность
Стабильность процесса откачки
Высокий предельный вакуум
БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ –
ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС

7. Достоинства предлагаемой системы

ЭКОНОМИЧНОСТЬ:
Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет
необходимости в утилизации отработанной жидкости,
нет необходимости в фильтрах масляного тумана
Увеличивается производительность производства
Простое обслуживание: не требует замены масла, не
требует смены масляного фильтра, периодичность
кап.ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь
вакуума.
Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые
очищаемые экраны
Сокращение времени откачки: требуется меньшее
количество операций по чистке вакуумной магистрали
(допускаемая зернистость пыли <50 микрон)
меньшее газовыделение

8. Преимущества предлагаемой системы

Улучшенное
качество проведения технологического
процесса:
Значительно меньшие вибрации
Высокое качество вакуума ( время откачки &
стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие
углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и
рабочей камере.
Повторяемость откачных характеристик от цикла к
циклу
Отсутствие масляных протечек
Стабильность откачных характеристик от условий
окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую
производительность по откачке паров )
Большая производительность по Аргону
( специально адаптированное рабочее тело насоса )
Мониторинг системы, Возможность сигнализации

9. Недостатки

Небольшая степень повышения
давления
Несовершенство процесса сжатия
Более высокая температура газа на
нагнетании
Высокий уровень шума.

10. Сравнения стоимости эксплуатации насосов

11. Видео

12. РЖ-61

13. РЖ-61

English     Русский Правила