ОСНОВИ СЕНСОРИКИ
ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ
ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ
Основні елементи та параметри конструкції
Основні елементи та параметри конструкції
Основні елементи та параметри конструкції
Формула вимірювання деформацій
Формула вимірювання деформацій
Чутливість до деформації
Повзучість та гістерезис
Повзучість та гістерезис
Повзучість та гістерезис
Повзучість та гістерезис
Повзучість та гістерезис
Температурний приріст опору
Номінальний опір. Опір ізоляції.
Номінальний опір. Опір ізоляції.
Похибки вимірювання деформації
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску
Контрольні запитання і завдання
1.54M
Категория: ЭлектроникаЭлектроника

Сенсорика. Тензосенсори. Загальні відомості та принцип роботи

1. ОСНОВИ СЕНСОРИКИ

5.ТЕНЗОСЕНСОРИ.
ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ ТА ПРИНЦИП
РОБОТИ.

2. ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ

• Тензосенсори – пристрої для вимірювання
деформації різних конструкцій, заснований на
визначенні зсуву (або переміщення) пружного
елементу.
• Датчики зсуву можуть вимірювати як лінійний зсув
(при поступальному русі), так і кут повороту (при
обертанні).
• Існує безліч способів вимірювання деформацій
відповідно до використовуваних принципів
перетворення:





тензорезистивний,
оптико–поляризаційний,
п'єзорезистивний,
волоконно–оптичний,
механічний...
• Серед електронних тензодатчиків, найбільшого

3. ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ

• Існують різні типи тензодатчиків залежно від
сфери застосування:
– тензодатчики зусилля і навантаження;
– тензодатчики ваговимірювальні (вимірює вагу);
– тензодатчики тиску (вимірювання тиску в різних
середовищах);
– акселерометри (датчики прискорення);
– тензодатчики переміщення;
– тензодатчики крутного моменту.
• Найбільш типовим застосуванням тензодатчиків є
ваги. В залежності від конструкції платформи, що
приймає вантаж, вагові тензодатчики різного типу:




тензодатчики
тензодатчики
тензодатчики
тензодатчики
консольні (балочні тензодатчики);
s–подібні;
мембранного типу;
колонного типу.

4. Основні елементи та параметри конструкції

• Тензодатчик складається з:
– тензочутливих елементів (тонкий дріт, фольга,
напівпровідникова, або металева плівка плівка, яка
одержана напиленням у вакуумі та ін.),
– зв’язуючого елементу (клею або цементу), який служить
проміжним конструктивним (технологічним) шаром для
передачі зусилля деформації від поверхні об’єкту до
тензочутливого елементу,
– та елементів з’єднання зі схемою обробки електричного
сигналу.
• У багатьох випадках тензодатчики для зручності
виготовлення, застосування та зберігання
виготовляються з несущою основою, в якості якої
використовуються:




полімерні плівки,
кераміка,
композитні матеріали,
метали та ін.

5. Основні елементи та параметри конструкції

• Принцип дії тензорезистору
засновано на реєстрації зміни опору
дроту, або струмопровідної плівки
внаслідок їх розтягнення під дією
зовнішньої сили F.
• Зміну опору можна обчислити за
простою формулою:
F
l
(l l ) 2
l 2 l
R
R,
lA
A
l
де: R – початковий опір дроту;
l – довжина дроту без навантаження;
ρ– питомий опір;
A – діаметр дроту;
Δl, ΔR – зміна довжини та опору дроту
під навантаженням.
А
F

6. Основні елементи та параметри конструкції

• Конструктивними параметрами тензодатчика
являються загальні габаритні розміри: довжина,
ширина, товщина; розміри його окремих
елементів — чутливого елементу, підкладки,
або монтажної рамки та елементів з’єднання.
3
5
1
2
4
Конструкція тензодатчика з дротовим чутливим елементом:
1 – елементи монтажу;
2 – нерухома (монтажна) рамка;
3 – дротовий підвіс;
4 – рухома пластина (підкладка);
5 – виводи датчика

7. Формула вимірювання деформацій

Структурна схема електронного вимірювача
деформації:
А О К
ВК
ДЖ – джерело живлення;
ВК – вхідне коло;
ПС – попередній підсилювач сигналу;
СО –схема обробки сигналу;
ПВ – пристрій відображення даних;
ІЗ – інтерфейс зв’язку;
А, О, К – клеми для підключення тензодатчиків.
ДЖ
ПС
СО
ПВ
ІЗ

8. Формула вимірювання деформацій

• У такій схемі вимірювання відносний приріст опору
тензодатчиків зв’язаний з різницею показань 0 шкали
прибору практично точною формулою:
1 R
0
Sпп R 1
де: Sпп - постійна пристрою індикації;
( R/R) – відносне змінення опору тензодатчику, увімкненого в
активне плече мосту.
•Відносна зміна опору тензодатчика при зміні сили деформації
буде дорівнювати:
R
R
S
де: S – чутливість тензодатчика до деформації;
ε – функція відносної деформації поверхні.

9. Чутливість до деформації

• Чутливістю до деформації (або просто чутливістю – S)
тензодатчика називається відношення відносного приросту
опору тензодатчика, що контактує з рівномірно розтягнутою
або стиснутою поверхнею, до відносної лінійної деформації
поверхні, що викликала цей приріст, в напрямку осі
чутливості тензодатчика: R
R
S
де: ( R/R) – відносна зміна опору тензодатчика при зміні відносної
деформації поверхні на величину .
•Чутливість до деформації залежить від властивостей чутливого елемента, який зв’язує
конструктивні параметри тензодатчика.
•Тензодатчики, крім чутливості в напрямку поздовжньої вісі, мають чутливість в
поперечному напрямку за рахунок деформації поперечних ділянок, а також за рахунок
поперечної деформації чутливого елемента, маючого кінцеву ширину.
•Звичайно величина поперечної чутливості складає 0.3–0.7% від поздовжньої величини
чутливості для провідних, плівкових та фольгових тензодатчиків і 1% для
напівпровідникових тензодатчиків.
• Для визначення поперечної чутливості тензодатчика проводяться виміри в напрямі осі
чутливості основи (рамки, мембрани), уздовж котрої прикладається сила деформації, та
перпендикулярно цієї осі.

10. Повзучість та гістерезис

• Повзучість тензодатчика зв’язана з явленням пружної
деформації (релаксації напруги), що протікає в часі під дією
зовнішньої сили.
• Якщо швидко змінити деформацію мембрани, на якій
сформовано тензодатчик, то можна помітити, що зміна опору
тензодатчика, сталого зразу після змінення деформації, не
буде відповідати динаміці зміни деформації.
• Ця невідповідність приросту опору тензодатчика у порівнянні
з кінцевою величиною опору, сталого відразу після змінення
деформації мембрани, прийнято вважати характеристикою
повзучості тензодатчика.
• Її визначають у відносних одиницях опору ( R/R)П або
R
R
R
просто П):
П
R
R
R
П
де: ( R/R) , ( R/R) приріст опору відразу після змінення деформації
мембрани на величину і по закінченню часу після установлення
заданої деформації.

11. Повзучість та гістерезис

• На практиці повзучість тензодатчиків часто характеризується
відносним значенням <П>, визначеним як:
П
П
R
R
•У зв’язку з тим, що повзучість тензодатчика зв’язана з
релаксацією (ослабленням) напруження у матеріалі підкладки,
або у зв’язуючому шарі при постійній деформації мембрани її
появлення визиває зменшення приросту опору, викликаного
заданою деформацією мембрани; тобто відносна величина
повзучості тензодатчика має негативне значення.
•Однак якщо тензодатчик сформовано на тонкій консолі, опір
тензодатчика в часі після дії навантаження може змінюватися в
тому ж напрямку, що і опір від заданої деформації, і повзучість
має позитивні значення.

12. Повзучість та гістерезис

• Гістерезис. Опір і похибка датчика сильно залежать від
матеріалів і способу кріплення тензодатчика до об’єкту
вимірювання.
• Плинність матеріалів також викликає значні зміни
характеристик тезодатчиків, однією з яких є гістерезис.
• Гістерезис – це різниця у відносних вимірах опорів
тензорезисторів, отриманих при навантаженні і розвантаженні
первинного перетворювача при однаковому рівні деформації.
ε
Петля гістерезису при
навантаженні і розвантаженні
первинного перетворювача
тензодатчика:
– величина деформації ПП;
Р – прикладене зусилля;
В– ширина петлі при P=0
2
1
В
Р

13. Повзучість та гістерезис

• Гістерезисом прийнято вважати різницю у відносних
зміненнях опору, що спостерігаються при одному і
тому ж рівні деформації при навантаженні 1 и
розвантаженні 2 тензодатчика.
– Звичайно за характеристику гістерезиса тензодатчика
обирають ширину петлі при P=0 (ділянка В).
• Гістерезис також значною мірою залежить від
технології формування і матеріалу чутливого
елементу і підкладки тензорезистора.
• Гістерезис тензодатчиків також визначається його
повзучістю.
– Отже, величина гістерезиса залежить також і від величини
та часу дії навантаження (кількості циклів навантаження,
часу дії циклів) та інших факторів, які визначають
величину повзучості.
ε
2
1
В
Р

14. Повзучість та гістерезис

• Величину гістерезиса можна визначити
експериментально або при відомому значенні
повзучості розрахувати згідно з формулою;
П м 2k k
0 1 i i
к
i 1
i k 1
де Пм – значення повзучості тензодатчиків при максимальному
навантаженні Рм за час, який дорівнює навантаженню пластини від 0
до Рм;
– константа, що характеризує поведінку зв’язуючого шару, або
підкладки при релаксації;
к – число циклів навантаження тензорезистора до максимального
значення Рм;
i – поточне число циклів навантаження.

15. Температурний приріст опору

• Температурним приростом опору тензодатчика називається
відносна змінена опору датчика при зміні температури
зовнішнього середовища.
• Температурний приріст опору тензодатчика можна записати
у вигляді:
R
t mt nt S n dt
R t t0
t
де: t– поточне значення температурного коефіцієнта опору чутливого
елементу тензодатчика;
mt– поточне значення температурного коефіцієнта розширення
конструктивного матеріалу підкладки, або пластини;
nt– поточне значення температурного коефіцієнта розширення
матеріалу чутливого елемента тензодатчика;
Sn– тензочутливість чутливого елементу;
t0– начальна температура;
t– кінцева температура.

16. Номінальний опір. Опір ізоляції.

• Опір тензодатчика – це величина його
електричного опору, яка вимірюється між
вивідними провідниками за нормальних умов
зовнішнього середовища.
• Опори тензодатчиків можуть відрізнятися, тому
що, по–перше, при термообробці тензодатчиків
відбувається усадка зв’язуючих конструктивних
компонентів та основи, що викликає деформацію
чутливого елементу, а, по–друге, якщо після
пакування в корпус проводиться термічна обробка
тензодатчиків, то в наслідок цього може змінитися
опір самого чутливого елементу.
• Величина опору тензодатчика залежить від
матеріалу і розмірів чутливого елементу, якості
з’єднання з виводами і від того, наскільки якісні
електроізоляційні властивості конструктивних
компонентів.

17. Номінальний опір. Опір ізоляції.

• Опором ізоляції Rі тензодатчика називається величина опору,
яка вимірюється між виводами тензодатчика і корпусом та
поверхнею, на яку він монтується.
• Величина Rі залежить від ізоляційних властивостей
матеріалів і якості конструкції корпусу.
• Малий опір ізоляції тензодатчиків може визвати незначну
помилку у вимірюванні деформацій.
• Мінімальне допустиме значення опору ізоляції Rідод. залежить
від начального опору ізоляції Rі0, від номінального опору
тензодатчика RД і від допустимого значення зміни опору
тензодатчика за рахунок опору ізоляції, що визначає вимоги
до класу точності вимірювальної апаратури, яка
використовується:
R Д Rі 0
Rідод
.
R
4
Rі 0 R Д
R ідод
Зазвичай опір ізоляції вимірюють високоточними мостами RCL при
живленні постійним струмом.

18. Похибки вимірювання деформації

• Похибка вимірювання деформації буде мати наступний вигляд:
DS D DП ,
2
2
2
де Ds – похибка за чутливістю, вона визначається за формулою:
DS
2
S
S
де S – чутливість тензодатчика до деформації.
Dо – похибка від температурного приросту опору.
Повзучість є систематичною похибкою, але обрахунок повзучості в процесі
вимірювання за допомогою тензодатчиків є складною задачею, тому на
практиці цю похибку прийнято вважати рівною нулю.
Величина похибки вимірювання деформації визначається різними
способами в залежності від умов застосування тензодатчиків.

19. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Сенсори тиску – є одними з най поширених датчиків для
вимірювання фізичних величин.
– Вони використовуються в різних галузях – від медицини та
метеорології до промисловості, енергетики і систем озброєнь.
• Найбільш поширеним в промислових датчиках є спосіб
вимірювання деформацій пружного елементу під дією сили
тиску.
• Для розділу робочого та зовнішнього середовища
використовуються пружні циліндричні мембрани, на які
нанесені чутливі до мікродеформацій елементи.
• Під дією різниці тисків в середовищах перед мембраною та за
нею, відбувається її деформація, яка призводить до зміни
електричних характеристик чутливого елемента.
• Електричний сигнал чутливого елемента перетворюється
модулем електроніки в нормований аналоговий або цифровий
сигнал.

20. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Найбільш поширеними серед промислових
перетворювачів тиску є технології, які
використовують:
– чутливі до мікродеформацій п'єзорезистивні сенсори,
– тонкоплівкові тензорезистивні сенсори на сталі і
товстоплівкові сенсори на кераміці.
• П’єзорезистивні датчики є досить популярними, але значно
кращу стабільність мають датчики з тензорезистрами.
Мембрана
Тензорезистор
Р
Порт входу
Корпус
Деформація
мембрани з
жорстким центром
під дією тиску в
диференційних
датчиках

21. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Існують різні технології нанесення чутливих
елементів на мембрану – від дифузійного до
фіксації за допомогою різних компаундів.
• Зазвичай, 4 чутливі елементи наносяться в певних
місцях на діафрагму і з’єднуються за схемою
вимірювального мосту.
• Мікродеформація мембрани під дією тиску складає
одиниці мікрон.
• Зміна опору тензорезисторів і п’єзорезисторів теж
є досить малою, тому важливою складовою
датчика є модуль електроніки, який повинен
підсилити корисний вхідний сигнал, компенсувати
систематичну похибку та забезпечити ефективне
фільтрування шуму.

22. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Існують і інші способи вимірювання
мікродеформацій, наприклад, індуктивний,
ємнісний, резонансний.
• Резонансний спосіб використовують,
наприклад, в перетворювачах Yokogawa,
вимірюючи зміну власної частоти коливань
пружного елемента під дією тиску.
• Ємнісний спосіб, при якому поверхня
мембрани є однією з обкладинок
конденсатора, вже значний час
використовується компанією Rosemount.

23. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Інший підхід використовує фірма Trafag, чиї
промислові датчики тиску виготовляються за
плівковою технологією на основі тензорезисторів.
• При формуванні металевих тензорезисторів на
мембрані виникають технологічні проблеми, які
пов’язані з якістю та стабільністю адгезії.
• Крім того, необхідно нанести проміжний шар
діелектрика.
• Рівень технологій при виробництві мікроструктури
чутливого елемента, яким є мембрана з
тензорезисторами, суттєвим чином визначає такі
параметри датчика, як дрейф та довготривала
стабільність.

24. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Чутливий елемент датчика
тиску Trafag, який виконано за
тонкоплівковою технологією на
металевій мембрані.
На мембрану (1) з
нержавіючої сталі нанесені
чотири тензорезистори
(2), які з’єднуються за
схемою вимірювального
мосту з елементами
контуру компенсації
температури (3) та
сформовано провідники та
позолочені контактні
площадки (4).

25. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Модуль електроніки розроблений з урахуванням високих
вимог до вібро– та ударостійкості змонтовано на окремому
кристалі та об’єднано з підкладкою, на якій змонтовано
первинний перетворювач в двоярусну конструкцію.
– Можливі варіанти виконання, як одно – так і двокорпусні.
• Електричні з’єднання між частинами датчика здійснюються
через контактні площадки мембрани та штирові контакти
модуля електроніки без паяних провідників.
• Для забезпечення високої надійності та стабільності чутливі
елементи для вимірювання тиску виготовляються на основі
тонкоплівкової нікель–хромової (NiCr) технології, яка є однією
з найбільш стабільних.

26. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

Коло компенсації нелінійності
АЦП
ЧЕ
Таблиця перекодування і блок
компенсації
ЦАП
ΣΔ
Р
Калібрування
t
р t e
e
Вихідний сигнал
ЦАП
Структурна схема датчика тиску Trafag:
Вихід
ЧЕ – чутливий елемент на основі мосту тензорезисторів та елементів схеми
калібрування;
ЦАП, АЦП – аналого–цифрові та цифро–аналогові перетворювачі сигналу

27. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Калібрування датчиків на виробництві відбувається шляхом
внесення відповідних коефіцієнтів в програмне забезпечення
спеціалізованої мікросхеми (ASIC) при випробуваннях на
стенді.
• Trafag розробив і застосовує власну технологію калібрування
датчиків по трьох параметрах – тиску, температурі та
вихідному сигналу на основі таблиць перекодування (3D–
lookuptable).
• Спеціалізована інтегральна схема має АЦП з трьома
незалежними каналами, обчислювач та два ЦАП.
• Сигнал тиску формується мостом з чутливими елементами –
тензорезисторами або п’єзорезисторами – і подається на вхід
АЦП.
– Крім того, АЦП вимірює температуру чутливого елемента
(мембрани) і температуру електронного модуля.

28. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• За рахунок можливостей компенсації через тривимірні
набори характеристичних кривих забезпечується висока
точність та низький рівень шуму.
• Схема обробки сигналу за рахунок широкого набору
елементів налаштування підтримує всі поширені сенсорні
технології для вимірювання тиску – тонкоплівкову,
товстоплівкову і п’єзорезистивну.
• Це дозволяє забезпечити високий рівень уніфікації
виробництва.
• При виробництві датчиків, важливим питанням є
стабільність їх характеристик протягом терміну
експлуатації.
• Крім старіння матеріалів, мікрокорозії, на стабільність
характеристик датчиків впливають гідроудари,
температура, вібрації, удари.

29. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Температурна стійкість протягом терміну служби. Багато
датчиків вимірюють тиск середовища, температура якого
набагато перевищує +60°С.
– При прискорених випробуваннях, термін випробування у 10 місяців
при температурі +120°C вважається близьким до 10 років при
температурі +80°C.
• Тест циклічного навантаження. В процесі експлуатації під
дією тиску діафрагма витримує змінні навантаження. Також, час
від часу мембрана витримує пікові навантаження, які є значно
вищими ніж максимальне значення діапазону вимірювань
датчика.
– Під час тесту датчики, на які подана напруга живлення, піддаються
20 мільйонам циклів навантаження тиском з амплітудою у 1,7 рази
більше, ніж максимальний тиск номінального діапазону.
• Тест термічного удару. У багатьох системах датчики тиску
зазнають різких змін температури. В результаті виникає дрейф
з боку чутливого елемента і нестаціонарні похибки з боку
електроніки.
– Під час тесту датчики під напругою зазнають дію 750 теплових
ударів: від –55°С на протязі 45хвилин, за 7 секунд температура
змінюється до +85°С на 45хвилин.

30. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

• Порівняння технологій сенсорів
• На ринку присутні різні технології
чутливих елементів датчиків тиску,
відрізняється і технологія виробництва на
різних підприємствах.
• Для порівняння технологій різних
виробників, датчики без живлення
нагрівають до температури +120С на 200
годин, після чого перевірена їхня точність
при +35°С.

31. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

Параметри
ECT 8437
Технологія
TCL 8439
NAT 8252
Товсто плівкова на сталі
Вихідний сигнал
4–20mA
0…5/10V
4–20mA
CNP 8270
Тонко плівкова на кераміці
4–20mA
0…2,5/5/10V
CAN Open
Тиск, Бар
0…0,1/0…40
0…0,1/0…2,0
0…2,5/0…600
0…1/0…600
Точність, % FS
(від повної
шкали)
+/– 0,3/0,5/1,0
+/– 0,3/0,5
+/–0,5
+/– 0,1/0,15/0,5
+/– 0,2
+/– 0,2
+/– 0,1
+/– 0,1/0,2
–25…+125
–10…+70
–40…+125
–50…+135
Стабільність
FS за рік
Температура,
град С
%
Вібрації
4G
(10–2000Гц)
6G
(25–2000Гц)
15G
(20–2000Гц)
40G
(20–2000Гц)
Удари
50G/8мс
50G/8мс
50G/8мс
50G/8мс
Застосування
Станки, гідро
Техпроцеси,
рівень
рідини,
транспорт
Станки,
гідро,
техпроцеси,
транспорт
Станки,
гідро,
техпроцеси,
випробування

32. Застосування тензодатчиків в сенсорах тиску

33.

34. Контрольні запитання і завдання

завдання
Що таке вимірювальний перетворювач, сенсор, датчик?
Дайте визначення. Пояснить, яка різниця в формулюваннях?
Узагальнена структура сенсора. Основні вимоги до сенсорів?
Класифікація первинних вимірювальних перетворювачів.
Які особливості критеріїв класифікації розробника
електронних систем і розробника ПП?
Які характеристики прийняті в якості класифікаційних ознак
ПП?
Класифікація ПП за вимірюваним параметром.
Класифікація ПП за принципом дії, характером вихідного
сигналу.
Класифікація ПП за середовищем передачі інформації,
кількістю вхідних величин і технологією виготовлення.
Параметричні і генераторні первинні вимірювальні
перетворювачі.
English     Русский Правила