Технологические среды в микроэлектронике. Газоподготовка в электронной технике

1.

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ
СРЕДЫ В
МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ

2.

Газоподготовка в
электронной
технике

3.

4.

5.

Числовая маркировка чистоты газов

6.

Схема установки для осушки и очистки
от кислорода инертных газов

7.

Чистые помещения
в электронной
технике

8.

Изолирующие лабораторные шкафы
(боксы)

9.

Графическое представление классов чистоты
помещений по стандарту ISO 14644 -1

10.

Классификация чистых помещений и
чистых зон по ISO 14644-01

11.

Чистые помещения с различными направлениями
газовых потоков

12.

Чистое помещение с вертикальным
однонаправленным потоком воздуха

13.

Схематическое изображение чистых помещений трех
типов: а – чистое помещение зального типа; б – чистое
помещение туннельного типа; в – чистое помещение с
минизонами

14.

Водоподготовка в
электронной
технике

15.

Требования к качеству воды после
очистки

16.

Примеси и методы их удаления

17.

Осмос и обратный осмос

18.

Упрощенное представление обратноосмотической системы

19.

Схема движения потоков воды и ионов в ячейке
электродеионизатора

20.

Качество воды на различных стадиях
подготовки