Микросистемная техника «Введение в MЭMС». Часть II

1.

Санкт -Петербургский Государственный
Политехнический Университет
Лаборатория
Нано- и Микросистемной техники
Микросистемная техника
« Введение в MЭMС ».
Часть II
Е.Н.Пятышев
М.С.Лурье
Ю.Д.Акульшин
Санкт-Петербург СПбГПУ
www.mems.ru

2.

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
МИРОВОЙ УРОВЕНЬ
Акселерометры
Датчики
давления
Гироскопы
Более 500 млн /год
BMW 740i - более 70 МЭМС
датчиков
Микротурбогенератор
Более 90 млн /месяц
Сопловые устройства
струйных принтеров
Цифровое микрозеркальное
устройство фирмы TI
Более 1 млн
микрозеркал
Перспектива:
замена батарей
питания
2,2 млн оборотов / мин
60 Вт
Более 100 млн /год
Более 500 млн /год
Более 0,50 млн /год

3.

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Уровень и прогноз
109
Число транзисторов, Т
М=104… 106
Т=107… 108
Рост числа
элементов –
новое
качество
109
Число механических компонентов, М
Распределенные
системы

4.

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Распределение продаж по отраслям
Транспорт 42,9%
Медицина 23,8%
Военная техника 14,3%
Информационные технологии 14,3%
Промышленная автоматизация 4,8%
Мировой уровень продаж 2004 год
Микросистемная техника
18 млрд долларов
Микроэлектромеханические системы
6 млрд долларов

5.

МЭМС
МЭМС –
МОЭМС
MOEMS
Microfluidics
Био-МЭМС
Bio-MEMS
МЭМС –
ВЧ МЭМС
RF MEMS
флюидика
источники энергии
Power MEMS

6.

МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
ДАВЛЕНИЯ
Датчик промышленного стандарта
Автомобильный датчик
Защитный гель
Годовой выпуск более 500 млн
Пластиковый
корпус

7.

МЭМС
Элементы зубчатых
зацеплений