Оптимизация и отработка режимов диффузии Фосфора с использованием ТПИ

1.

Дипломный проект
Оптимизация и отработка режимов диффузии
фосфора с использованием ТПИ
Разработчик: уч-ся гр. 44В4б. Тишкевич Д.А.
Руководитель: Чернец Н.Ч.

2.

Цель дипломного проектирования:
Разработать технические разделы с описанием процесса
диффузии, так же провести оптимизацию технологического
процесса диффузии, описать режимы, методы проведения
диффузии, рассчитать экономический эффект до
оптимизации/после оптимизации, выполнить графическую
часть( габаритный чертеж установки, алгоритм ТП и
графики/диаграммы оптимизации.)

3.

Технические характеристики установки SVFUR -FP
Мощность установки: 75 кВА;
Интервал рабочих температур : 200-1300 ˚С
Напряжение: 380/220В;
Частота: 50 Гц;
Время загрузки-выгрузки: 20 минут;
Время разогрева электропечи из холодного состояния до
максимальной: 1 час 40 минут.

4.

Основные параметры
диффузии
Параметры
диффузии:
- температура процесса от 850 до
1250°С
- примесь для диффузии –
фосфор
- пластина кремниевая диаметром – 150 мм
Также при проведении диффузии нужно контролировать следующие
параметры:
-концентрация примеси и газов;
-давление;
-время проведения процесса.

5.

Методы контроля
Формирование косого шлифа
Схема измерения
поверхностного сопротивления
четырехзондовым методом
Схема измерение глубины p-n
перехода методом Шаршлифа

6.

МЕТОДЫ ВНЕДРЕНИЯ ПРИМЕСИ
Диффузионные методы внедрения примеси
Схема способов проведения диффузии
а – закрытая диффузионная труба
б – открытая диффузионная труба
Схема двухзонной диффузионной печи
Метод открытой трубы

7.

ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ НА КАЧЕСТВО ТЕХПРОЦЕССА
Соблюдение заданных режимов и параметров технологического процесса
является ключевым фактором для достижения высокого качества выпускаемой
продукции
Ошибки или отклонения от установленных режимов могут привести
к снижению качества продукции, ухудшению ее свойств и даже к полной
непригодности для использования
Поэтому для устранения дефектов
необходимо проводить анализ причин и выбирать соответствующие действия
для их устранения

8.

Оптимизация технологического процесса
Была проведена оптимизация
режимов диффузии Фосфора,
Расчёт оптимизации показал,
что выход параметров процесса
за нижний и верхний предел не
допускается. Оптимальными
параметрами принимаем
основной уровень.
Поэтому делаем вывод. Для
технологического процесса
диффузии оптимальными
параметрами будет
температура – 960°С и время
процесса – 90 мин

9.

ГОДОВОЙ ЭКОНОМИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ
В результате расчета получен годовой экономический эффект,
составивший 51681,09 рублей. Условно-годовая экономия от
снижения брака составила 19578,32 рублей за счет повышения
процента выхода годных изделий, в результа -те
оптимизированных технологических режимов и снижения
брака на операции разгонка фосфора.

10.

СПАСИБ О ЗА
ВНИМАНИЕ!
РАЗРАБ ОТАЛ : ТИШКЕВИЧ Д.А.
РУКОВОДИТЕ ЛЬ: ЧЕРНЕЦ Н.Ч.