Оптимизация и отработка режимов разгонки фосфора на установке SVFUR-FP

1.

Оптимизация и
отработка режимов
разгонки фосфора на
установке SVFUR-FP
Разработал
Учащийся группы 44В4б
Альшевский Р.К.

2.

Оборудование для проведения
разгонки(диффузии)
Характеристики установки SVFUR-FP:
- размер пластин 100 мм, 150 мм,
- система нагрева четырехзонная,
- энергопотребление 95 кВт- 165 кВт,
- температура от 200°С до 1300°С,
- время выгрузки/загрузки 20 мин,
- время разогрева электропечи из холодного,
- состояния до максимальной 1 час 40 мин,
- масса 2245 кг

3.

4.

.
.

5.

Алгоритм
проведения процесса

6.

Контроль после операции
Главные параметры контроля:
-
глубина залегания p-n перехода xj,
поверхностное сопротивление.

7.

Условия чистой комнаты

8.

Оптимизация режимов разгонки
фосфора
Таблица - Полный двухфакторный эксперемент
Расчет оптимизации показал, что выход параметров процесса за нижний и верхний предел не
допускается. Оптимальными параметрами принимаем основной уровень. Поэтому делаем
вывод, для технологического процесса разгонки фосфора оптимальными параметрами будет
температура 1200°С и время процесса - 720 мин (12 часов)

9.

Охрана труда и окружающей среды
В разделе охрана труда и окружающей среды были рассмотрены такие вопросы как:
-
правовые, нормативные, социально- экономические и организационные вопросы охраны
труда,
анализ выполнения требований охраны труда к устройству и содержанию организации,
цехов,
анализ выполнения требований безопасности к производственному оборудованию и
рабочим местам,
обеспечение электробезопасности,
анализ соблюдения требований производственной санитарии,
обеспечение пожарной безопасности,
обеспечение охраны окружающей среды.

10.

Экономическая часть
В экономической части дипломного проекта были произведены расчеты:
-
основных материалов,
вспомогательных материалов
основной заработной платы
дополнительной заработной платы
отчислений на социальные нужды
коммерческих расходов
полной себестоимости
годового экономического эффекта
В результате расчет был получен годовой экономический эффект, составивший 47479,91
рублей. Условно-годовая экономия от снижения брака составила 18448,31.

11.

Конец
Спасибо за внимание