Формирование комплексного проекта команд исполнителей

1.

Формирование комплексного
проекта команд исполнителей

2.

Дорожная карта развития Литографии и Микроскопии
Электронно-лучевая литография (ЭЛЛ)
Комплекс
Электроннолучевой
литографии
2022
2023-2025
>90 нм / LaB6-1 / Гаусс / до 150 мм
Демонстратор ЭЛЛ
на базе импортного
РЭМ
Ионно-лучевая
литография для
изготовления
фотошаблонов (НИР)
Трансфер
технологий на:
АО «ЭЗАН»
ЭСТО, ЗНТЦ,
ПРОТОН и
другие
На производство
2025-2026
Электронно-лучевой
литограф с
150-90 нм / LaB6-2 /
изменяемой
геометрией луча 200 мм
2023-2024
На производство
Хар-ки
На производство
2023-2025
Хар-ки
Электроннолучевой
литограф
высокого
разрешения
Растровая электронная
микроскопия (РЭМ)
2023-2025
2026-2028
<45 нм / Шоттки / Гаусс /до 200 мм
На производство
Катодный узел
Хар-ки
На производство
Универсальный
отечественный
РЭМ
2023-2025
10нм/ LaB6-РЭМ и
Шоттки
На производство
ФИНАСИРОВАНИЕ:
Минобрнауки РФ
Минпромторг РФ
РНФ
2028
2025-2028
Линейки РЭМ
специального
назначения
На производство
--млрд.
---млрд.
2