Композит УНТ графен

1.

Композит УНТграфен
Подготовили:
Мусловец Иоан
Клеукин Вячеслав
Научные
1
руководители:

2.

Введение
Нанотехнологии — это перспективное
направление
развитие науки .Они задействованы в
большинстве
сферах жизни человека.
2

3.

ъект исследования
В этой работе объектом исследования является
нанокомпозитное
покрытие
ZrN-Si3N4,
получаемое
методом
магнетронного
распыления.
Объектами
исследования являются несколько образцов с различной
долей аморфной фазы Si3N4. Моделирование облучения
проводилось с использованием метода SRIM. Полученные
покрытия подвергались облучения ионами гелия
различной дозы. Методами просвечивающей, растровой,
сканирующей
электронной
микроскопии,
рентгеноструктурного
и
микро-анализа
изучались
3

4.

Задачи
• Провести аналитический обзор литературы
• Исследовать состав и структуру исходных
покрытий ZrSiN
• Провести моделирование
повреждений в покрытиях
радиационных
• Исследовать структуру покрытий
после облучения ионами гелия
ZrSiN
4

5.

тоды исследования
• Рентгеноструктурный анализ
• Растровая электронная микроскопия
• Просвечивающая
микроскопия(ПЭМ)
электронная
5

6.

нализ образцов
Мощность,Вт
300
250
200
150
100
50
0
0
5
10
15
20
25
30
-50
6

7.

ультаты моделирования
а)
7

8.

центрационный профиль
14
14
14
12
12
12
10
10
10
8
8
8
6
6
6
4
4
4
2
2
2
0
0
0
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
8

9.

отери энергии
25
20
15
10
5
0
20
20
18
18
16
16
14
14
12
12
10
10
8
8
6
6
4
4
2
2
0
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
0
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
9

10.

мещение на атом
3
3
3
2,5
2,5
2,5
2
2
2
1,5
1,5
1,5
1
1
1
0,5
0,5
0,5
0
0
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
0
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
10
3500

11.

ультаты облучения
11

12.

12

13.

13

14.

14

15.

15

16.

S%(Ф)
40,00
35,16
34,43
35,00
30,00
y = -6E-37x2 + 8E-18x + 8,4519
R² = 1
25,00
%
20,00
15,00
10,00
9,28
5,00
0,00
0,00
2000000000000000000,00
Доза, Фл
4000000000000000000,00
6000000000000000000,00
8000000000000000000,00
10000000000000000000,00
16

17.

17

18.

18

19.

Выводы
19