Похожие презентации:
Формирование областей исток-сток МОПТ. (Лекция 9)
1. Лекция 9 Особенности формирования областей исток-сток МОПТ
2. Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ
[1]3. Эффект образования горячих носителей
[2]4. Причины и следствия образования горячих носителей
• LкNп
Xопз
E
УИ
ГН
Ин
Uп
ВЖ
5. Механизм образования ловушек для горячих носителей
[1]6. Влияние горячих носителей на ВАХ МОПТ
допосле
Стресс
[1]
7. LDD структура стока
СпейсерЗатвор
Подзатворный окисел
[2]
Сток
8. Влияние LDD структуры на распределение электрического поля
[2]Расстояние от поверхности, мкм
9. Влияние дозы имплантации примеси для LDD на время жизни и ток в подложку МОПТ
Ток в подложку, А/см2Время жизни, годы
Влияние дозы имплантации примеси для LDD на время
жизни и ток в подложку МОПТ
Область
cуществования
LDD
LDD
формирется
ОПЗ
Доза
сужается
[2]
10. Маршрут формирования МОПТ с LDD структурой
[2]11. Изменение глубины LDD структуры от технологического уровня
[3]12. Зависимость тока насыщения МОПТ от длины канала и уровня легирования LDD структуры
[3]13. Влияние перекрытия LDD структуры электродом затвора на ток насыщения МОПТ
LDD[3]
14. Факторы, влияющие на величину сопротивления LDD стока МОПТ
[2]15. Эффект обеднения LDD - структуры
Отрицательныйзаряд
Обеднение
области п-типа
[2]
16. Конструктивные варианты LDD структуры
ПоверхностныйLDD
Скрытый LDD
Градиентно-скрытый
LDD
[2]
17. Зависимость степени деградации крутизны МОПТ от времени испытания для различных LDD
Деградация крутизныЗависимость степени деградации крутизны МОПТ от
времени испытания для различных LDD
Поверхностный
LDD
Скрытый LDD
Градиентноскрытый LDD
[2]
Время испытаний, час
18. Маршрут изготовления градиентно-профильной LDD структуры
Иония имплантация мышьяка ( малая доза )Ионная имплантация фосфора
Формирование спейсеров
Ионная имплантация мышьяка ( большая
доза и энергия )
[2]
19. Маршрут формирования LDD КМОП ИС с двумя карманами
[2]20. Влияние концентрации примеси и температуры на подвижность носителей
21. Гало-области МОПТ
МОПТ с гало-областьюМаршрут формирования МОПТ
с локальной гало-областью
[2]
22. Влияние режимов формирования гало-области на изменение порогового напряжения МОПТ
[1]23. Влияние гало-области на напряжение смыкания ОПЗ исток-сток
[1]24. Влияние режима формирования гало-области на подпороговый ток МОПТ
[1]25. Зависимость тока выключения от тока насыщения для двух типов МОПТ
1 – с гало-областью\2 – без гало-области
[1]