Похожие презентации:
Взаимодействие излучения с веществом. Radiation. Лабораторные занятия
1. Взаимодействие излучения с веществом
RadiationЛабораторные занятия
2. Вводная лекция
3. Взаимодействие электронных пучков с твердыми телами
В электронных микроскопах дляполучения информации о строении
объекта следят за взаимодействием
электронного пучка с образом.
Экспериментально мы можем
различить и исследовать
следующие типы сигналов:
Оже-сигнал
SE – сигнал
BSE – сигнал
Рентгеновские спектры
Флюоресценция
4. Оже-сигнал
Очень малая область генерации(источник сигнала почти равен
сечению пучка)
Только поверхностный сигнал (глубина
выхода ~1 нм, не зависит от состава
объекта)
Энергия оже-электрона (50-2000 эВ) не
зависит от энергии падающего пучка,
но зависит от химического состава
образца.
Сигнал изучают только в сверхвысоком
вакууме, из-за сильного влияния
адсорбата.
5. SE - сигнал
Малая энергия электроновМалая область генерации
Чувствителен к рельефу
Широкое угловое распределение
6. BSE - сигнал
Энергия электронов, примерноравная энергии пучка.
Средняя область генерации
Чувствителен к атомному номеру
Узкое угловое распределение
7. Рентгеновские спектры
8. Интенсивность суммарного электронного сигнала от образца
а – SE сигнал (<50 эВ)б – не упруго отраженные электроны
в – BSE сигнал
1 – Оже сигнал (50-2000 эВ)
2 – отражение электронов,
рассеянных на неровностях
поверхности.
3 – упругое отражение