Взаимодействие излучения с веществом
Вводная лекция
Взаимодействие электронных пучков с твердыми телами
Оже-сигнал
SE - сигнал
BSE - сигнал
Рентгеновские спектры
Интенсивность суммарного электронного сигнала от образца
Почему мы получаем такую картину? Практическое занятие
515.24K
Категории: ФизикаФизика ЭлектроникаЭлектроника
Похожие презентации:

Взаимодействие излучения с веществом. Radiation. Лабораторные занятия

1. Взаимодействие излучения с веществом

Radiation
Лабораторные занятия

2. Вводная лекция

3. Взаимодействие электронных пучков с твердыми телами

В электронных микроскопах для
получения информации о строении
объекта следят за взаимодействием
электронного пучка с образом.
Экспериментально мы можем
различить и исследовать
следующие типы сигналов:
Оже-сигнал
SE – сигнал
BSE – сигнал
Рентгеновские спектры
Флюоресценция

4. Оже-сигнал

Очень малая область генерации
(источник сигнала почти равен
сечению пучка)
Только поверхностный сигнал (глубина
выхода ~1 нм, не зависит от состава
объекта)
Энергия оже-электрона (50-2000 эВ) не
зависит от энергии падающего пучка,
но зависит от химического состава
образца.
Сигнал изучают только в сверхвысоком
вакууме, из-за сильного влияния
адсорбата.

5. SE - сигнал

Малая энергия электронов
Малая область генерации
Чувствителен к рельефу
Широкое угловое распределение

6. BSE - сигнал

Энергия электронов, примерно
равная энергии пучка.
Средняя область генерации
Чувствителен к атомному номеру
Узкое угловое распределение

7. Рентгеновские спектры

8. Интенсивность суммарного электронного сигнала от образца

а – SE сигнал (<50 эВ)
б – не упруго отраженные электроны
в – BSE сигнал
1 – Оже сигнал (50-2000 эВ)
2 – отражение электронов,
рассеянных на неровностях
поверхности.
3 – упругое отражение

9. Почему мы получаем такую картину? Практическое занятие

English     Русский Правила