Сканирующая электронная микроскопия

1.

2.

Использование
электронного
микроскопа для
научных
исследований было
начато в конце
1930-х годов и тогда
же появился первый
коммерческий
прибор,
построенный
фирмой «SIMENS»

3.

Принцип работы

4.

.
Преимущества использования ЭСМ:
Высокое разрешение
Большой глубинный фокус
Возможность анализа химического
состава
Возможность наблюдения в
различных режимах
Возможность исследования
различных типов материалов

5.

.
Применение ЭСМ в
материаловедении включает:
Изучение поверхности материалов
Анализ морфологии и размеров
частиц
Анализ химического состава
Исследование структуры и
фазового состава
Изучение поверхностных свойств

6.

.
Преимущества использования ЭСМ:
Высокое разрешение
Большой глубинный фокус
Возможность анализа химического
состава
Возможность наблюдения в
различных режимах
Возможность исследования
различных типов материалов

7.

Типы микроскопов

8.

Просвечивающий электронный
микроскоп

9.

Растровый электронный
микроскоп

10.

Недостатки
Дороговизна использования
Должны быть размещены в зданиях, а
иногда и под землей.
Место размещения должно быть без
внешних электромагнитных полей
Образцы рассматриваются в вакууме
Большие размеры

11.

Благодарю за внимание!